中国（guó）电科（kē）旗下电科装备研制成功的离子注入机。中国电科 供（gòng）图

　　中新网北京3月17日电 (记者 孙自（zì）法)记者17日从中国电（diàn）子科技集团有限（xiàn）公司(中国电科)获（huò）悉，该集（jí）团旗下电科装备已成功实现离（lí）子（zǐ）注（zhù）入（rù）机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业（yè）提供离子注入机一站式（shì）解决方案。

　　中（zhōng）国电科介绍（shào）说，离子注入机是芯（xīn）片制造中的（de）关键装（zhuāng）备。电科装（zhuāng）备（bèi）连续突（tū）破大流强长（zhǎng）寿（shòu）命（mìng）高品质（zhì）离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”关键技术，自主研制出中束流、大束流、高能、特种（zhǒng）应用及（jí）第（dì）三代半导体等离（lí）子注入机，工艺段覆（fù）盖至28纳米，已累计形成核心（xīn）发明专利413项，实现中（zhōng）国芯片制造领域全谱系离（lí）子（zǐ）注入（rù）机自主（zhǔ）创新（xīn）发展，将有效缓解中国芯片制造领域断链、短链难（nán）题。

　　中（zhōng）国电科（kē）表示，下一步（bù），电科（kē）装备将瞄准高端，紧跟先进工艺发展（zhǎn），加快（kuài）推进适（shì）用于更先进工艺节点离子注入机的研发及（jí）产业化。

　　据了（le）解，中国电科是（shì）中国军（jun1）工电子主力军、网信事业“国家队”、国家战略科技力（lì）量，拥（yōng）有电子信（xìn）息领域相（xiàng）对完备的科技创（chuàng）新体系（xì）。目前，中国电科旗（qí）下（xià）包括47家国家（jiā）级（jí）研（yán）究院所、11家上市公（gōng）司在内的企事业（yè）单位500余家，员（yuán）工20余（yú）万名，并拥有35个国家级（jí）重点实验室、研（yán）究（jiū）中心和创新中心。